Ohun alumọni Carbide Cantilevers Faili

Apejuwe Kukuru:


Ọja Apejuwe

Ọja Tags

Ọja alaye ati ohun elo
Agbara ikojọpọ wafer nla okun silikoni carbide SiSiC / SiC cantilever paddle / tan ina jẹ o dara fun ikojọpọ adaṣe robot ati ẹrọ mimu nitori o ni iṣẹ iduroṣinṣin, aiṣe-ibajẹ ni iwọn otutu giga ati agbara ikojọpọ wafer nla. Niwọn igba ti apakan ti paadi oju cantilever jẹ idurosinsin laisi abawọn, o ṣee ṣe lati ṣe wafer titobi nla ni lilo awọn tubes ileru tẹlẹ. Agbara ikojọpọ wafer nla silikoni carbide SiSiC / SiC cantilever paddle / tan ina le ṣee lo si LPVCD lori ipilẹ ti imugboroosi imugboroosi igbona iru rẹ pẹlu awọ LPVCD, eyiti o mu gigun itọju ati gigun kẹkẹ pọ si pupọ, ati dinku awọn eeyan ni pataki.

Awọn iṣiro imọ-ẹrọ ti ifasita ohun alumọni carbide RBSIC: 

ohun kan kuro data
Otutu ti ohun elo 1380
iwuwo G / cm3 > = 3.02
Ṣii porosity % <0.1
Iwọn ti Iwa lile Moh   13
Agbara atunse Mpa 250 (20 ℃)
Mpa 280 (1200 ℃)
Modulu ti rirọ Gpa 330 (20 ℃)
Gpa 300 (1200 ℃)
Iwa eledumare W / mk 45 (1200 ℃)
Olùsọdipúpọ ti imugboroosi gbona K-1 * 10-6 4,5
Ipilẹ ẹri-acid   O dara julọ

Awọn ẹya ara ẹrọ:
a. Ko deform ni iwọn otutu giga ati agbara ikojọpọ wafer tobi;
b. O tayọ resistance-mọnamọna gbona ati igbesi aye iṣẹ pipẹ;
c. Olumulo imugboroosi ti imularada ti fifẹ cantilever jẹ kekere lalailopinpin, eyiti o fa gigun itọju ati gigun kẹkẹ lọpọlọpọ;
ati dinku awọn eefin

Miiran kiln aga ṣe nipasẹ ohun alumọni carbide seramiki 
Yato si Ifarahan sintered ohun alumọni carbide SiSiC cantilever paddle fun wafer loading, a tun gbe awọn miiran kiln aga pẹlu RBSIC / SISIC ohun alumọni carbide nibiti, noi Falopiani, ajija nozzle tube, swirl nozzle tube, oxide mnu SIC ohun alumọni carbide batts / setter awo ati RBSIC itutu oniho .

Wọ awọn ọja RBSIC / SISIC silikoni carbide
Nitori ọja RBSIC / SISIC silikoni carbide wa ni awọn anfani ti imunilara yiya ti o dara julọ, idiwọ ibajẹ ati igbesi aye iṣẹ pipẹ, o tun le ṣe sinu awọn aṣọ wiwọ asọ ti o le fi sori ẹrọ ni rọọrun ninu awọn paipu processing tabi awọn iji lile.


  • Ti tẹlẹ:
  • Itele:

  • Kọ ifiranṣẹ rẹ si ibi ki o firanṣẹ si wa